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溫濕度控制系統(tǒng)
溫濕度控制系統(tǒng)在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經過此設備處理后的空氣，溫度控制精度可達目標值±0.01℃，充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求。
型號：所在地：上海市參考價：面議更新時間：2024/11/9 11:16:03 對比

恒溫恒濕機精密恒溫恒濕機溫濕度調節(jié)裝置氣體溫濕度溫濕度控制
溫濕度控制
溫濕度控制在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經過此設備處理后的空氣，溫度控制精度可達目標值±0.01℃，充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求。
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恒溫恒濕機精密恒溫恒濕機溫濕度調節(jié)裝置氣體溫濕度溫濕度控制系統(tǒng)
氣體溫濕度
氣體溫濕度在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經過此設備處理后的空氣，溫度控制精度可達目標值±0.01℃，充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求。
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